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          H-150—系列滑阀真空泵

          概括
          H/2H系列滑阀真空泵是排除一般性气体和含有少量可凝气体(使用气镇装置)的真空获得设备之一。当抽除含氧量过高、有爆炸性气体、对黑色金属有腐蚀性的、对泵油起化学反应的气体时应增加附加装置才能保证正常使用。
          本系列滑阀真空泵采用了多项先进技术,对滑阀杆离心惯性力进行了动平衡设计,在国内首次实现大泵双缸结构(2H系列),在气路设计等方面进行了改革,本泵具有体积小、真空度高、振动噪声小、运转平稳、功耗小等突出优点。
          本系列泵可单独使用,也可作为其他真空泵的前级泵。适用于真空镀膜设备、宇航模拟设备、单晶炉,多晶炉设备、真空干燥、真空浸渍、真空冶炼等场合。


          型号/性能/参数(Type-Performance-parameter)

          型号

          极限压力(Pa)

          抽气速率(L/S

          进气口径
          mm

          排气口径
          mm

          配用功率
          KW

          冷却水耗量(L/h

          2H-30

          6×10-2

          30

          63

          50

          4

          250

          2H-70

          6×10-2

          70

          80

          63

          7.5

          350

          2H-150

          6×10-2

          150

          100

          80

          15

          500

          HL-150

          0.8

          150

          100

          80

          11

          700

          H-150

          0.8

          150

          100

          80

          15

          700

          H-300

          0.8

          300

          200

          100

          30

          1000

          特性曲线 Characteristic curve


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